Speaker
阔 马
(University of Science and Technology of China)
Description
相比于传统的平面型硅探测器，三维硅探测器是一种抗辐照性能更强的探测器，同时也具有实现时间-空间(4D)分辨的潜力。经过国内外数十年的研究，三维硅探测器技术已用于研究高能物理的大型强子对撞机上，其可耐受1×1016 neq/cm2 1MeV等效中子辐照通量。我们的团队致力于新型三维硅像素探测器的研制，包括探测器的仿真设计和器件加工。在完成器件设计和关键工艺验证之后，我们设计并提交了第一版版图，目前仍在学校的微纳研究与制造中心流片。本报告将会介绍器件在不同几何或工艺参数下的仿真结果，器件加工流程，以及预计会展示流片完成后器件的电学性能测试结果。
Authors
衍文(Yanwen) 刘(Liu)
(USTC)
阔 马
(University of Science and Technology of China)
