Speaker
任, 浩泉
(中国科学技术大学)
Description
低增益雪崩探测器（LGAD）是一种创新型硅传感器，具备出色的时间测量精度和抗辐照性能。其内部增益层使其具备约30皮秒的时间分辨率。我们对由中国科学技术大学与中国微电子所合作生产的LGAD样品进行了全面分析，涵盖了电流-电压（IV）特性、电容-电压（CV）特性、时间分辨率以及收集电荷的测量等重要指标。这些分析有助于合理评估生产样品的质量，并通过测试每片晶圆上的质量控制结构（QCTS），有效监控了LGAD的生产工艺和质量。
Primary author
任, 浩泉
(中国科学技术大学)
