Speakers
李, 星
(中国科学院微电子研究所)
贾, 锐
(中国科学院微电子研究所)
Description
传统的硅微条是由半导体集成电路技术制备而成；为了摆脱对高端集成电路设备和技术的依赖，我们创新地发展了基于肖特基原理和技术的改性硅微条。通过选用合适的高功函数金属以及处理方式，制备出基于肖特基势垒的硅微条。测试表明，硅微条的能量分辨率达到了0.5%。硅微条的抗辐照性能优秀。
