第五届半导体辐射探测器研讨会

具有优异抗辐照性能和能量分辨率的新型硅pin探测器

18 Apr 2025, 10:20

8h

王朝9+10厅前，2F (西安喜来登大酒店)

海报 Poster

Speaker

锐 贾 (中国科学院微电子研究所)

Description

硅PIN探测器是一种基于硅半导体工艺的的辐射探测器，该探测器具有结构简单、成本低、常温工作等优势，广泛应用于低能X射线（~1–30 keV）的能谱分析、粒子探测和成像。我们创新地采用新型的宽禁带薄膜工艺，来构建整个硅pin探测器，具有成本低、抗辐照性能高、能量分辨率高的优势。为了降低漏电流，我们创新地采用了发射极局部重掺，而其他发射极轻掺的结构和技术，使得25mm2器件的漏电流在室温度降低到了5nA以下，最终获得了0.3%的能量分辨率，并且抗辐照性能极佳。